【产品介绍】
PERS-RH1705电化学扫描台阶仪是一款超精密接触式微观轮廓测量仪器，其主要用于台阶高度、膜层厚度、表面粗糙度等微观形貌参数的测量。采用线性可变差动电容传感器LVDC，具备超微力调节的能力和亚埃级的分辨率。测量端采用金刚石探针，具有高精度、高分辨率特点，搭配一体花岗岩结构，保证稳定可靠的重复性测量。
PERS-RH1705具备极强的应用场景适应性，可广泛应用于半导体、太阳能光伏、光学加工、LED、MEMS器件、微纳材料制备等各行业领域内的工业企业与高校院所等科研单位，其对表面微观形貌参数的准确表征，对于相关材料的评定、性能的分析与加工工艺的改善具有重要意义。
【产品特点】
★台阶高重复性：0.5nm；
★采用金刚石探针，针尖半径2μm；
★磁吸针结构设计，快速换针；
★配备500W像素高分辨率彩色摄像机；
★采用LVDC电容传感器，实现了亚埃级的分辨率和超微测力的精确控制；
★具备自动对焦功能，可自动定位寻找最低点；
★针对批量样品，提供多区域测量功能，实现一键式多点快速测量 ；
★配备360°旋转台的全电动载物台，能够迅速准确地定位到测量点；
★性能优异，操作简单。
【技术参数】
【应用领域】
